斷線后的補(bǔ)救措施是比較繁瑣和耗時(shí)的，根據(jù)斷線的部位和切割的比例有不同的處理方法：

一、斷線情況發(fā)生在進(jìn)線端，我們可以采用倒走線的方式，把張力臂的力更換一下，然后進(jìn)行反向切割，切割速度一定要慢，確保在反向切割的途中不會(huì)出現(xiàn)意外;

二、斷線情況發(fā)生在出線端，繼續(xù)接上后把接的線頭繞到收線輪上(多繞幾圈);

三、斷線情況發(fā)生在線網(wǎng)中間，將線網(wǎng)出線端到斷線的那段線網(wǎng)剪斷，調(diào)整好切割室的滑輪，接好鋼線，然后把線頭繞到收線輪上(多繞幾圈);

四、兩頭斷線：①切割30%以?xún)?nèi)，直接把工作臺(tái)抬起，用乙二醇對(duì)晶棒進(jìn)行浸泡，洗去硅片上砂漿，使片子完全張開(kāi)，重新編制線網(wǎng)，慢走線，把晶棒壓人線網(wǎng)內(nèi)，繼續(xù)切割;②切割30%以上，將晶棒工作臺(tái)抬起，用水將硅片沖洗干凈后使用吹風(fēng)機(jī)吹干到硅片全部自動(dòng)分離時(shí)重新將晶棒壓入線網(wǎng)。也有采用鋼線焊接儀，可以在斷線的時(shí)候把鋼線焊接起來(lái)，然后采取慢走線的方式把焊接的地方走出來(lái)繞到收線輪上。但是到目前為止如果鋼線纏繞到導(dǎo)輪上，這種情況現(xiàn)在還沒(méi)有有效的解決方法。

3)停機(jī)。切片機(jī)在有些報(bào)警下會(huì)自動(dòng)停機(jī)，等報(bào)警消除后重新開(kāi)始切割，基體的停機(jī)報(bào)警項(xiàng)可從機(jī)器的維護(hù)說(shuō)明上查得，因?yàn)闄C(jī)器的停頓，重新啟動(dòng)后，由于導(dǎo)輪心震，剛線不能完全按原位置切割，線痕于是產(chǎn)生了，這種情況相對(duì)于前兩種較少。

4)粘膠過(guò)多。粘膠過(guò)多引起的線痕一般在靠進(jìn)粘膠面附近切割快結(jié)束的倒角處，由于膠水涂抹過(guò)多溢出，刮膠不徹底或者有的膠水固化時(shí)間較快來(lái)不及刮膠，導(dǎo)致切割時(shí)鋼線帶膠切割，而攜帶砂漿的能力下降，引起切削線痕。因此膠量要嚴(yán)格控制，從成本控制的角度，這也是有益的。如果使用自動(dòng)粘膠系統(tǒng)可以大大的排除這些人為的不利因素，也會(huì)減少因粘膠問(wèn)題而造成的掉棒損失。

5)進(jìn)刀口鋼線波動(dòng)。由于剛開(kāi)始切割，鋼線處在不穩(wěn)定狀態(tài)，鋼線的波動(dòng)產(chǎn)生進(jìn)刀口線痕，進(jìn)線點(diǎn)質(zhì)硬，比如多晶的切割一般會(huì)由此問(wèn)題，加墊層(導(dǎo)向條)可消除線擺。

6)鋼線磨損過(guò)度(但未造成斷線)。此線痕一般出現(xiàn)于硅棒的后面，鋼線磨損、帶沙量低、切削能力下降、線膨脹系數(shù)增大引起的線痕。

7)硅片切割第一刀出現(xiàn)線痕。可能為碳化硅微粉有大顆粒物，鋼線的張力太小產(chǎn)生的位移劃錯(cuò)，鋼線的張力太大、線弓太小料漿帶不過(guò)去，線速過(guò)高、帶沙漿能力降低等等。對(duì)于鋼線張力問(wèn)題，略作調(diào)整即可，而碳化硅微粉有大顆粒物，經(jīng)過(guò)一刀切割后微量的大顆粒變細(xì)或者變鈍.也就不影響正常切割。

3. 密集性線痕

此線痕是由于砂漿的切割能力不足引起的。切割能力的不足，主要為砂漿粘度不夠、碳化硅微粉粘浮鋼線少、砂漿不能很好的混合于懸浮液中，配合性不好。但最常遇到的根本原因?yàn)椋瑂ic的切割強(qiáng)度偏低或者sic圓度系數(shù)過(guò)高即sic顆粒形狀較圓，鋒利的棱角較少。sic的強(qiáng)度在其原料生產(chǎn)時(shí)便決定了，sic的微粉化并不會(huì)改變其強(qiáng)度。如果sic本身材料的強(qiáng)度過(guò)低，切割時(shí)與硅棒作用，棱角被磨平鈍化，切割能力不足，導(dǎo)致硅片表面出現(xiàn)大面積的均勻線痕;但如果在sic的微粉化過(guò)程中由于工藝不當(dāng)，顆粒在切割前已經(jīng)被磨平，那同樣也會(huì)造成切割能力不足導(dǎo)致密集性線痕。對(duì)于后者，只要在高倍顯微鏡下進(jìn)行來(lái)料檢驗(yàn)即可觀測(cè)到，就可避免生產(chǎn)中造成的損失，而對(duì)于前者則需要分析sic的成分和晶型強(qiáng)度再做判斷。

目前很多廠家為了節(jié)約成本使用回收砂進(jìn)行切割，但由于回收砂的質(zhì)量不穩(wěn)定，因此常有可能會(huì)面臨由于切割能力不足導(dǎo)致的密集性線痕問(wèn)題。主要原因是回收時(shí)如果不同廠家砂漿混合，回收后的sic微粉之間、sic微粉與懸浮液之間存在配合性的問(wèn)題，同時(shí)也可能存在sic顆粒已經(jīng)過(guò)度磨損的問(wèn)題。這種使用回收砂造成的密集性線痕可以通過(guò)加大砂漿密度，降低工作臺(tái)速度，減少使用回收砂的比例和加大砂漿更換量在一定程度上得到控制。

4. 硬點(diǎn)線痕

對(duì)于多晶，比單晶多一種造成線痕的原因，那就是硬點(diǎn)。此線痕與硅片切割的工藝和輔料無(wú)關(guān)，主要取決于多晶鑄錠的原料和工藝。

5. 結(jié)論

由上文所述，鋼絲的明顯質(zhì)量缺陷會(huì)引起線痕的發(fā)生，但在鋼絲無(wú)明顯缺陷時(shí)，切割工藝的適當(dāng)優(yōu)化可以降低線痕的出現(xiàn)機(jī)率，砂漿的過(guò)濾、線網(wǎng)的清理和膠量的控制能很大程度的減少線痕的產(chǎn)生。SiC的質(zhì)量對(duì)硅片的切割有著重大的影響，一旦SiC的質(zhì)量產(chǎn)生問(wèn)題則會(huì)產(chǎn)生大量的密集性線痕片而造成巨大損失。因此對(duì)輔料的監(jiān)控和檢驗(yàn)有著猶為重要的意義。同樣對(duì)于多晶的硬點(diǎn)線痕，控制硅原料質(zhì)量和坩堝氮化硅涂層工藝比較重要。