摘要：目前，由于組件色差引起的客戶投訴日益增多。調整電池工藝可以有效的減少電池
色差，但是對已經出現色差電池片，我們需要找到簡單并且有效的方法來將色差片變為合
格片，從而提高電池成品合格率。本文就色差電池片再處理的方法進行了闡述。

　　雖然色差不會導致組件的發電性能下降，但是在同一電站同一方陣中，色差問題顯得尤為眨眼，關于色差的投訴也日益增多。在投訴的問題中，無論是組件內部的片串色差，還是組件間的色差，雖然我們可以通過大力人工分選來杜絕組件色差，但歸根結底都是電池片色差造成，要想徹底解決色差問題，還得在電池片上下功夫。為了降低色差電池片，一方面需要調整電池PECVD工藝，一方面需要加大色差分選力度。針對已經出現的色差電池片，我們需要找到簡單并且有效的方法來將色差片變為合格片，從而提高電池成品合格率。

　　1.1電池工藝流程

　　一般多晶電池的生產流程：制絨、擴散、濕法刻蝕、PECVD、印刷燒結、測試包裝。

　　1.2電池色差的形成

　　在多晶硅電池片的制備中，PECVD工序就是將電池片的表面鍍上一層具有減反射和鈍化作用的氮化硅膜。一般情況下氮化硅膜呈現藍色，但是由于電池的鍍膜工藝以及使用設備本身特點，導致這層氮化硅膜的膜厚不一致，而氮化硅膜的厚度直接影響電池片表面呈現淺藍或是深藍，嚴重者會使電池片發白，或發紅。如圖一。

     為了提高電池片的成品合格率，對于已經產生的色差電池片，會進行一系列的重新返工,再次鍍膜來改變顏色差異。

　　2.1普通色差片再處理方法

　　一般情況下，在燒結前檢出的色差片首先經過酒精擦拭漿料，然后再和在PECVD工序挑揀出來的色差片一起投放到制絨進行重新返工，在重新洗膜的過程中需對制絨、PECVD工序的工藝參數進行修改。

　　在實際的生產過程中，為了不影響正常的生產，針對色差片會采取集中處理的方式。將色差片積攢到一定數量，選取一條生產線將制絨、PECVD工序的工藝參數進行調整后，重新洗膜后投入生產線進行二次生產。因此，這種色差片再處理的方法，無形中會增加硅基片的碎片率，以及再次洗膜制備中的材料和人工費用。據實驗數據統計，這種色差片再處理后的主要不合格率情況，再處理后出現的亮片占總色差片的19.30%，再次洗膜過程中的碎片率比正常生產時高1.0%，再處理后的電池片效率比正常生產時低0.15%。經過實驗數據分析，普通色差片再處理工藝存在以下缺點：①通過再次制絨腐蝕后的硅基片更薄，這是導致碎片率高的主要因素。②通過再次制絨后反射率和再次制絨前反射率對比，再次制絨后的反射率普遍升高，這是導致效率較正常生產過程時偏低，亮片率偏高的主要因素。

　　2.2改進后色差片再處理方法

　　通過普通色差片再處理方法與正常生產的工藝對比，發現濕法刻蝕HF酸槽與返工片清洗洗膜設備使用同一反應介質,但濕法刻蝕HF酸槽藥液濃度明顯要高出很多，存在去掉藍膜而又保留PN結的可能性。經過實驗，更改濕法設備HF酸槽內HF酸自動補液量、調整帶速保證藍膜能夠剛好完全去除而又不會對PN結造成損傷，藍膜洗凈后可直接傳入PECVD工序進行鍍膜不影響效率。工藝參數對比，正常生產濕法刻蝕生產工藝：HF自動補液量0.33L/100片，帶速2.2m/min；洗膜工藝：HF自動補液量0.7L/100片，帶速1.0—1.2m/min。

　　據實驗數據統計，使用改進色差再處理方法，再處理后沒有出現的亮，再次洗膜過程中的碎片率比正常生產時高0.49%，再處理后的電池片效率比正常生產時低0.05%，在很大程度上降低了生產成本。

　　雖然色差不會影響到組件的性能，但初于人們對于產品完美追求的心理，色差還是會被提及。雖然可以通過不斷改進工藝方法來處理色差電池片，使之變為合格片，但仍會消耗大量的人力物力。降低色差片的根本手段還是在于調整PECVD鍍膜工藝。

　　[1]吳清鑫,陳光紅,于映,等.PECVD法生長氮化硅工藝的研究[J].功能材料,2007,38(5);703-705.

　　[2]F.Duerinckx,J.Szlufcik.SolarEnergyMaterials&SolarCells,2002,72:231.

[3]A.Rohatgi,Z.Chen,P.Sana,J.Crotty,andJ.Salami,"Highefficiencymulticrystallinesiliconsolarcells"Sol.En.Mat.andSol.Cells,34,pp.227-236,(1994).